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我国透射式电子显微镜及有关仪器的发展
2010-04-16
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1.     19588月中国科学院长春光学精密机械研究所研制成我国第一台电子显微镜,分辨率为10nm1958年国庆节前夕在北京中关村中国科学院举办的展览会上展出。毛主席参观了展览会。

2.     19599月长春光学精密机械研究所自行设计研制成功我国第一台大型电子显微镜,分辨本领优于2.5nm,放大倍数10万倍。国庆十周年第一届全国工业交通展览会上展出。在天安门前举行的庆祝国庆十周年中国科学院游行队伍前就是这台电子显微镜的巨大模型。此成果作为我国四十年重大科学技术成果,并列入了记载古今中外自然科学大事的《自然科学大事年表》。

3.     1959年南京教学仪器厂(1965年改为江南光学仪器厂,1993年起为江南光电(集团)股份有限公司,电镜部分成立江南电子光学仪器研究所)研制成中型电镜样机,在国庆十周年第一届全国工业交通展览会上展出。1962年生产了第一批XD-301电子显微镜,分辨本领为10nm,加速电压为50kV

4.     1959年上海光学仪器厂研制的中型电子显微镜在国庆十周年第一届全国工业交通展览会上展出。

5.     19601965年上海精密医疗器械厂(19611964年改为上海仪表厂、19751986年为上海新跃仪表,196419751986年至今为上海电子光学技术研究所),在长春光学精密机械研究所第一台大型电子显微镜的基础上经历了DXA1-10(100kV5nm)DXA2-8(80kV2nm),至19657月制成DXA3-8型一级电子显微镜,分辨本领提高到0.7nm,放大倍数为20万倍。通过了国家鉴定。

6.     1960年云南大学物理系制成YDX-1型透射电镜,分辨本领(30kV8nm)

7.     1964年中国科学院科学仪器厂(1991年改为中国科学院北京科学仪器研制中心)研制成功FD-1型发射式电子显微镜,分辨本领优于100nm,放大倍数3605700X,工作真空度4×10-7 托。交付电子所使用,通过中国科学院评议。于1966年在北京全国仪器仪表新产品展览会展出。

8.     1964年南京教学仪器厂制成XD-302型电镜,分辨本领4nm,批量生产至1967年。

9.     1965年中国科学院上海科学仪器厂,长春光学精密机械研究所和电子学研究所应物理研究所的要求,合作研制完成卧式高分辨率电子衍射仪。衍射分辨率d/d1×103,试样运动机构独特。交物理研究所使用,为中国科学院重要成果。1966年全国仪器仪表展览会展出。

10.  1965年底中国科学院北京科学仪器厂研制成功DX-2型电镜,分辨本领0.4/0.5nm。电子光学放大可达25万倍以上。生产了8台。

11.  1965年云南大学物理系完成 YDX-3电镜(30kV3 nm)。

12.  1967年江南光学仪器厂制成DX-201电镜,分辨本领为2nm,放大倍数2,00050,000X,加速电压为5080kV。批量生产到1984年。

13.  1970年上海电子光学技术研究所设计制造DXB1-1240万倍透射电镜,点分辨本领达0.5nm

14.  1975年云南大学物理系完成YDX-4透射电镜,采用长寿命阴极Y2O3-Ir等。分辨本领为1.5 nm,加速电压50kV。获1978年全国科学大会奖。

15.  1976年江南光学仪器厂制成DXT-10电镜,分辨本领1nm,放大倍数最高10万倍,加速电压406080100kV。仪器性能已达到同类电镜的先进水平,投入批量生产。获1978年全国科学大会奖。1984年研制成功DXT-10C透射电镜测角台,具有±60°的大角度倾斜功能和四个运动自由度。

16.  1977年上海电子光学技术研究所完成多功能DXB2-1280万倍透射电镜,分辨本领保证0.2nm,可达0.14nm (晶格)。配有侧插式大角度旋转倾斜台,X 射线能谱装置EDS,可对试样进行微区成分分析。获1978年全国科学大会奖并列为我国四十年重大科学技术成果。进行了小批量生产。

17.  1979年中国科学院科学仪器厂,物理研究所和沈阳科学仪器厂在研制的分子束外延装置上配备了超高真空扫描高能电子衍射仪。经部分修改后制成的电子衍射仪单机,真空度10-10 托,电子能量1050keV,和分子束外延装置一起通过中国科学院鉴定。获中国科学院科技进步奖一等奖。在物理研究所等单位使用。

18.  1980年中国科学院科学仪器厂完成DX-4型透射电子显微镜。分辨本领为3.4 nm,达到0.204 nm (晶格),最高放大倍数为80万倍,最高加速电压为100kV。获1982年中国科学院重大科技成果一等奖。1984年研制成透射电镜的计算机控制系统。

19.  1983年上海电子光学技术研究所研制成DXC1-10普及型电镜(100kV0.7nm),作为扫描电镜用时,分辨本领优于20nm。部分透镜采用永磁式。获国防科学技术三等奖。

20.  1984年中国科学院科学仪器厂和北京燕山科学仪器开发公司研制阴极发光仪。加速电压115kV, 束流0.11mA1986年鉴定,达当时国际先进水平。获1990年北京市科学技术进步奖。投入小批生产。

21.  1985年上海交通大学材料科学系研制成功MTP-1型磁力驱动双喷电解减薄器,作为透射电镜金属样品制备关键设备投入批量生产和推广,获1985年国家发明4等奖。

22.  1986年上海电子光学技术研究所完成永磁式透射电镜DXT-75 (75kV0.7nm)

23.  1987年上海电子光学技术研究所完成DXT-5教学用透射电镜 (50kV5nm);

24.1987年上海电子光学技术研究所组装完成日本JEOL公司的200CX等透射电镜。

25.  1989年冶金部钢铁研究总院研制生产的GL-690型离子减薄仪在北京分析测试学术报告会及展览会(BCEIA)上获新设立中国分析测试协会BCEIA金奖。

26.  1989年江南光学仪器厂引进日本日立公司技术生产H-600A分析电镜。分辨本领TEM时达0.2nmSEM时达3nm。已生产12台。

27.  1989年上海电子光学技术研究所研制成功加速电压为200kVDXT-200型电子显微镜,分辨本领(晶格)0.2nm,最高放大倍数为50万倍。侧插入倾斜台 (±25°)1990年获机械电子工业部科技成果二等奖。列为我国四十年重大成果。

28.  1991年上海电子光学技术研究所制成DXT-100A普及型透射电镜 (100kV0.45nm),获1995年上海科技博览会金奖。

29.  1992年上海电子光学技术研究所完成DXT-50A教学用透射电镜 (50kV2nm)

30.  1993年江南光学仪器厂完成DXT-100G普及型透射电镜 (100kV1nm),具有适应性、方便性好和价格低等特点。获南京市科技进步奖二等奖。

31.  1993年江南光学仪器厂完成日本H-600A电镜国产化。分辨本领TEM时达0.2nmSEM时达3nm。投入生产。获南京市科技进步一等奖。

32.  19983月由国家科委条件财务司《分析仪器市场调查与分析编写组》编写的《分析仪器市场调查与分析》一书,由海洋出版社出版。我学会金鹤鸣,姜新力和姚骏恩编写了第4章——中国电子显微分析仪器市场。据SDI公司报告,1991年扫描电子显微镜(SEM)世界销售额为2.26亿美元,到1996年估计为3.00亿美元;约占电子显微镜市场的一半;该公司1994年报告,1992年透射电子显微镜(TEM)世界销售额为1.86亿美元,到1997年估计为2.50亿美元;约占电子显微镜总销售额的29%。我国到1996年应有各种电子显微分析仪器约2021台(包括在用和不用的),其中TEM756台(国产316台,占41.7%),SEM1165台(国产690台,占59.2%),电子探针约100台。19791986年是我国电镜增长的高峰期,年均增长132台。19911996年间,年均增长30余台;SEM/TEM增长比约为5:1

33.  199947国产970型低速金刚石圆锯,980型半自动精密凹坑研磨仪和MTP-1A型磁力驱动双喷电解减薄器由上海交通大学材料科学系研制成功。通过了国家科学仪器科技攻关管理办公室组织的专家组检查。

34.  1999129透射电镜国产CCD数字图像接收处理系统在北京有色金属研究总院研制成功:通过国家科技部组织的验收组验收。图像像元数:795×596,动态扫描帧数(最快):25/s,积累时间40ms160s。可进行图像实时处理、分析。具有广阔的应用前景。


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