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我国扫描电子显微镜的发展
2010-04-16
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1.     19758月中国科学院科学仪器厂自行设计研制我国第一台扫描电子显微镜,定型为DX-3型。分辨本领10nm,加速电压530kV,放大倍数从20倍至10万倍。主要指标达当时国际先进水平。获1978年全国科学大会奖。投入批量生产。并向北京仪器厂、宝鸡市国营4503厂等推广。

2.     19777月上海新跃仪表厂完成SMDX-1P型微区分析扫描电镜。加速电压550kV,分辨本领优于20nm。配有双道直进式全聚焦X射线晶体谱仪和同轴光学显微镜。元素分析范围为F9U92。获1978年全国科学大会奖。

3.     1977年北京仪器厂制造了由中国科学院科学仪器厂推广的DX-3扫描电镜。

4.     1977年中国科学院科学仪器厂研制成功X-3F双道X射线光谱仪。波长分辨率分别为15×10-3 (Na11U92),及15×10-2 (B5F9)。获1978年中国科学院重大科技成果奖。此光谱仪和同轴光学显微镜一起,与DX-3扫描电镜匹配,发展为DX-3A分析扫描电镜。分辨率优于10nm,元素分析范围B5U92 。获19781979年中国科学院重大科技成果一等奖。

5.     19784503厂在科学仪器厂DX-3扫描电镜的基础上研制生产了扫描电镜,分辨本领10nm, 30kV

6.     1978年上海新跃仪表厂鉴定台式TSM-1型扫描电镜(30nm17kV),获上海市重大科技成果奖。改进型TSM-21981年鉴定,分辨本领优于20nm,加速电压为20kV,投入批量生产。获1983年国家经济委员会颁发的优秀新产品证书。

7.     1979年云南大学物理系自行设计研制的YWD-1A型扫描电镜,分辨本领优于10nm。阴极为以铱作基底的Y2I3 。获云南省科技成果三等奖。

8.     1979年江南光学仪器厂于完成DXS-1小型扫描电镜,分辨本领30nm,加速电压20kV。获南京市科技进步三等奖。

9.     198011月完成DXS-1P普及型扫描电镜,分辨本领优于15nm,最高25kV,具有1.5kV低加速电压的特点。获国防科学技术进步奖。

10.  1980年由云南大学,北京仪器厂,上海第三分析仪器厂,江南光学仪器厂,成都仪器厂,湘西仪表厂,国营4503厂等参加联合设计制成DXST-1台式扫描电镜(20nm15kV),获机械工业部科技成果三等奖。北京仪器厂1981年开始小批生产改进的DXST-1A型台式扫描电镜(10nm15kV)

11.  1980年中国科学院科学仪器厂研制成功DX-5型扫描电镜。分辨本领6nm,放大倍数15倍~15万倍连续可调。有多种信号处理功能,设计了五维运动工作台。获中国科学院1986年科技进步奖。小批量生产。

12.  1982年上海第三分析仪器厂生产400型台式扫描电镜(20nm20kV)。投入小批生产。

13.  1983年江南光学仪器厂完成DXS-X2 普及型分析扫描电镜,配有四晶体倾斜式直进光谱仪。分辨本领15nm,元素分析范围B5U92。是该厂产量最大的扫描电镜。获南京市科技进步二等奖。

14.  1983年中国科学院科学仪器厂从美国Amray公司引进微机控制、分辨本领6nm,功能齐全的Amray 1000B扫描电镜生产技术。1985年生产了KYKY-1000B 扫描电镜,共生产100台。获1988年国家科技进步奖二等奖,并列为我国19791988年重大科技成果。

15.  1985年北京仪器厂完成BSM-25型台式扫描电镜 (8nm1025kV)

16.  1985年上海新跃厂完成DXS-10普及型扫描电镜 (10nm30kV),获1985年上海市优秀新产品奖二等奖。

17.  1987年科学仪器厂实现了Amray 1000B扫描电镜国产化。制成了大试样室,大试样台及背反射电子探测器,可获得元素成分分布图像。配备了低温试样台(-170~+18连续可调,冷刀可断裂试样,适于观察生物及含水试样)和试样拉伸台。

18.  1987年上海电子光学技术研究所与上海硅酸盐研究所将DXS-10型台式扫描电镜改装成国内第一台SR-1型热波电子显微镜,图像分辨率优于2mm1989年获上海市优秀产品三等奖。

19.  1988年中科院北京科学仪器厂研制成功LaB6阴极电子枪,使KYKY-1000B扫描电镜的分辨本领由6nm提高到4nm。中国电子科技大学太平洋微电子厂也研制生产了LaB6阴极。

20.  198911月江南光学仪器厂自行设计研制成功计算机控制DXS-3型高性能扫描电镜,分辨本领6nm,有图像处理及微机控制多种功能。元素分析范围F9U92。其基本性能、质量和自动化程度达到了80年代初国际水平。获1991年机电部科技进步一等奖。

21.  1989年中科院北京科学仪器厂研制完成KYKY-2000型数字化扫描电镜,分辨本领5nm,采用了数字图像处理功能。在第三届北京分析测试学术报告会及展览会(BCEIA)上获新设立的BCEIA金奖,并获1994年中国科学院科技进步奖二等奖。

22.  1992年上海电子光学技术研究所完成DXS-10A智能化普及型扫描电镜,分辨本领10nm,加速电压30kV。获1994年机械电子工业部科技进步奖三等奖。

23.  1993年根据中国科学院化学冶金所的要求,中科院科仪中心研制成KYKY-1500型高温环境扫描电镜。在1000B基础上增加了高温试样台及低真空试样室,改进了真空系统及信号电子接收器等。试样温度最高达1200,最高环境气压为2600Pa。在8001300Pa时分辨本领优于60nm。获1995年中国科学院科技进步三等奖。

24.  1993年上海电子光学技术研究所完成DXS-4智能化高性能扫描电镜。分辨本领3.5nm,加速电压30kV

25.  1995年中国科学院上海原子核研究所制成电镜用硅锂X射线能谱仪。探测器包括灵敏面积为20mm2 Si(Li)晶体,装有厚7.5mm铍窗的低温装置和杜瓦瓶。能量分辨率为152eV,与美国ORTEC公司生产的同类型探测器相比已达到较好水平。

26.  1995年中国科学院北京科学仪器研制中心研制成功扫描电镜和电子探针波谱仪自动化系统。应用计算机技术对早期的波谱仪进行了技术改造,省去了原谱仪手动操作和数据采集、处理方面的大量烦琐、重复工作。   

27.  1995年中国科学院北京科仪中心于研制成功KYKY-2800型扫描电镜,分辨本领4.04.5nm

28.  1996年中科院科仪中心研制成功首台国产化X射线能谱仪 Finder-1000X射线能谱仪。使用高性能PC机为主机,并以Windows为操作系统。已推向市场。

29.  1998年中国科学院北京科学仪器研制中心研制成功样品台自动调节控制系统。具有全面的五轴运动控制功能,采用Windows等技术可对样品台进行远程控制,实现了电镜操作的计算机屏幕化管理。

30.  1999102528日中国科学院北京科学仪器研制中心研制生产的全计算机控制扫描电镜KYKY-3800型扫描电子显微镜,在第八届北京国际分析测试学术报告会及展览会(BCEIA99)上,获“优秀国产分析测试仪器金奖”。

31.  199912月中国科学院上海冶金研究所研制成功扫描电子显微镜用新型背散射电子探测器――鲁宾逊探测器,可显示试样中原子序数相差为一的不同组分,图像分辨率接近二次电子的图像分辨率。

32.  2000326扫描电镜电子背散射衍射接收系统在北京有色金属研究总院研制成功,通过国家科技部组织的验收组验收。该系统的灵敏度优于0.05Lux,图像分辨率为512×512像素点,该系统还可对扫描电镜图像进行收集、实时处理和分析。


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